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落射照明(スクラッチ照明)を補足照明としてワークの症状が観やすくなり、マイクロスコープとして観察範囲が広くなりました。 ズーム倍率0.75~4.5倍のテレセンズームレンズで高精細画像が観察できて汎用性に優れたマイクロスコープです。(平面観察用)
【特長】 ■外部照射光による正反射像なのでロスのない画像が得られる。 ■微少角を持つ反射像が得られるので、表面の隆起状態が確認できる。 ■ワークとカメラ間に照明を持たないのでレンズ内での照明リークによる影響はなく、クリアーな画像が得られる。 ■軽曲面帯(X方向凸φ80以上)のハレーション像の観察が可能である。 ■落射照明(簡易)マイクロスコープとして可能。 ■簡易暗視野照明として利用可能。
【用途】 ■EL・LCD・タッチパネル等のITOの検査。 液晶等封入状態でも観察可能。 スペーサ分布検査。 ■ICチップのクラック・キズ・汚れ4ミクロンまで検出可能。 ■鏡面塗装・異物・傷・ピンホール等検出可能。 ■硝子・プラスチック・金属等の異物・傷・汚れ・ウォーターマークの検査。 ■薄膜・蒸着・コーティング等のピンホ-ル・剥離・傷の検査。 ■曲面シート(フイルム等)の凸面の検査。
ハレーション照明落射照明